京瓷收购芬兰压电MEMS公司 技术突破引关注

据麦姆斯咨询报道，精密陶瓷技术全球领先厂商日本京瓷（KYOCERA Corporation）近日收购了芬兰压电MEMS谐振器初创公司Tikitin。Tikitin是一家从芬兰研究机构VTT分拆出来的私人控股公司，成立于2016年5月，总部位于芬兰埃斯波（Espoo, Finland）的Otaniemi，公司旨在通过独特的压电MEMS谐振器产品来解决全球谐振器市场的时序和频率控制应用。截至目前，双方还未披露本次收购的更多详细信息。

Tikitin于2017年11月完成了370万美元融资，为其压电MEMS谐振器的全球业务发展提供了充足的资金支持。目前，Tikitin团队由八位在商业制造、MEMS开发和加工、知识产权以及国际业务发展方面经验丰富的成员组成。 Tikitin压电MEMS谐振器技术 Tikitin的核心技术基于其创始团队在MEMS时序和频率控制领域长达20年的研究积累。

2015~2016年期间的研究突破证明了其核心技术的可行性，因此，创始团队成立了Tikitin公司以将该技术商业化。 Tikitin基于其在MEMS设计和加工方面的卓越知识（knowhow），成为第一家推出与石英晶体引脚兼容的硅基MEMS谐振器公司。因此，其MEMS谐振器可以通过用于石英的振荡器驱动电路来驱动，无需重新设计。 Tikitin的MEMS谐振器技术利用了氮化铝（AlN）的压电特性，可在很宽的温度范围内提供比石英更好的热稳定性（+/- 10 ppm）。“这意味着，对于许多应用来说，我们的MEMS谐振器无需提供温度补偿，”Tikitin首席执行官兼联合创始人Aarne Oja称。Tikitin压电MEMS谐振器技术的频率范围为16 MHz~120 MHz，并可实现芯片尺寸的微型化。其相位噪声性能也类似于石英振荡器。 当需要更高的精度时，该技术可用于恒温控制MEMS振荡器（oven-controlled MEMS oscillator, OCMO），这是一种集成微型恒温槽的小型化、高性能MEMS振荡器。

与恒温控制晶体振荡器（OCXO）相比，OCMO可以提供小尺寸、低功耗和高环境温度运行的优势，适用于4G/5G无线电通信市场中的小型基站。 据Aarne Oja称，Tikitin目前正在埃斯波由VTT运营的试验和研究晶圆厂Micronova进行器件制造。MEMS谐振器原型已经交付给客户。2019年，Tikitin预计将推出首款OCMO，并将MEMS谐振器技术转移到大规模晶圆厂。 Tikitin目前向合作伙伴提供的服务包括： ■ Tikitin BEAT平台。该平台结合了Tikitin所有的工艺能力，可以为其合作伙伴提供极具竞争力的引脚兼容压电MEMS谐振器设计，作为石英晶体谐振器替代品或集成到振荡器或其他产品中。

■ Tikitin OCMO。Tikitin是第一家将MEMS技术引入高要求OXCO应用的公司，可提供基于压电MEMS技术的小尺寸、低功耗和高性能等优势。